重要招标数据：

　　本周招标248台设备，其中，光刻设备1台，薄膜沉积3台，工艺检测9台，离子注入1台，CMP 7台，热处理4台，清洗设备2台，其他设备221台。

　　重要中标数据：

　　本周中标8台设备，其中，工艺检测5台，其他设备3台。

　　本周重点企业动态：

　　近日，盛美上海推出Ultra Pmax等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备，并预计将在几周内交付给中国的一家集成电路客户;拓荆科技在接受机构调研时表示，目前公司在手订单饱满，且合同负债主要为预收款。

　　以下是本周部分招标信息汇总：

　　以下是本周部分中标信息汇总：